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設(shè)備：汞探針CV濃度測(cè)試儀CVmap 92A
廠商：美國Four Dimensions, Inc.(簡稱4D)
用途：檢測(cè)SiC/GaN外延層載流子濃度分布
技術(shù)指標(biāo)：
具有不同面積汞接觸, 點(diǎn)-環(huán)接觸等功能，可測(cè)試SiC,GaN等半導(dǎo)體晶片載流子濃度分布
地址：廣東省東莞市松山湖國家高新區(qū)總部一號(hào)12棟5樓
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